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  • 薄膜測厚儀
    薄膜測厚儀

    更新時(shí)間：2024-06-04

    型號：

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    薄膜測厚儀采用光譜干涉原理進(jìn)行測量，具有非接觸、無(wú)破壞、快速等特點(diǎn)，可在真空環(huán)境使用；可與大行程工件臺配合，實(shí)現大面積膜厚自動(dòng)測量。
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  • 微納結構三維形貌測量?jì)x
    微納結構三維形貌測量?jì)x

    更新時(shí)間：2024-06-04

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    微納結構三維形貌測量?jì)x系列微納結構三維形貌檢測儀，基于白光干涉掃描原理，以光波長(cháng)作為測量基準，利用納米級高精度掃描系統結合具有自主知識產(chǎn)權的高精度解析算法，實(shí)現連續或臺階突變微納結構表面三維形貌重構，由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀(guān)尺寸等各類(lèi)外觀(guān)參數測量結果。
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