微流控芯片流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測，具有很好的精度與重復性。采用新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)，內置有溫度傳感器，每只都進(jìn)行專(zhuān)有的溫度補償校準，同時(shí)具有線(xiàn)性模擬電壓輸出，使用方便。流量傳感器還被廣泛應用于工業(yè)過(guò)程控制、空氣和環(huán)境保護、便攜式儀器等領(lǐng)域，在工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗、產(chǎn)品質(zhì)量把控、生產(chǎn)效率提高、能源節約等方面發(fā)揮著(zhù)重要作用。
 

　　

　　微流控芯片流量傳感器將測量到的實(shí)際值饋送到電子控制部分與面板設置值比較，利用兩者間的誤差控制伺服閥門(mén)來(lái)調節吸入和呼出氣體流量；安裝在吸氣系統前端的空氣和氧氣流量傳感器生成的信號能幫助微處理器對閥門(mén)進(jìn)行控制，以提供所需要的氧濃度；流速和流量的檢測值還直接影響到呼氣與吸氣時(shí)的切換、分鐘通氣量上下限的報警、流量觸發(fā)靈敏度、氣流實(shí)時(shí)波形和P－V－環(huán)的監測顯示等等，可見(jiàn)，流量傳感器性能的好壞直接影響到呼吸機參數的準確性和可靠性。微流體流量傳感器為熱差式傳感器，通過(guò)接觸方式測量各種液體的流速。

　　

　　微流控芯片流量傳感器用于準確測量微流控裝置中的流量，實(shí)現雙向流速測量（正向和反向），具有高化學(xué)兼容性。我們壓力控制器系統（OB1MK3+多通道壓力真空控制器，AF1單通道壓力泵）都可以與微流體流量傳感器結合，用于直接監測和控制流量。流量測量范圍：0.07μl/min?40,000μl/min響應時(shí)間：<40ms誤差：<測量值5%兼容水和各種有機溶劑，雙向測量流速。